電子特種氣體又可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、蝕刻用氣、化學汽相沉淀用氣、載運和稀釋氣體等幾大類，種類繁多，在半導體工業中應用的有110余種電子氣體，常用的有20-30種。

    現在的電子半導體技術對于產品的性能和參數要求極其苛刻，對產品的制造環境要求極其嚴格，隨著半導體制程精密化程度越來越高，對特氣的純度要求也相應提升，以維持芯片表面的潔凈度，提升產品良率，因此對特種氣體在摻雜、保護、注入等方面的應用需求很大。

    全球角度來看，2015年全球集成電路用電子特種氣體的市場規模為35億美元，過去幾年一直保持穩定，預計2017年的市場規模與2015年基本一致。在市場格局方面，由于電子特種氣體對純度要求極高，掌握高純工藝、大規模量產的公司主要集中于歐美日的幾家巨頭公司，2014年美國氣體化工、法國液化空氣、日本酸素、普萊克斯和林德集團合計全球份額達到94%。

2012-2017年全球集成電路用電子特種氣體市場規模

數據來源：公開資料整理

    相關報告：智研咨詢發布的《2017-2022年中國電子特種氣體市場深度評估及投資前景評估報告》

    截止2016年底，國內方面電子特種氣體行業集中度高，美國空氣化工(APCI)、普萊克斯、日本昭和電工、英國BOC公司（已被德國林德集團收購）、法國液化空氣、日本酸素這六家公司合計占據了我國電子特種氣體85%的市場份額。

2015年中國電子特種氣體市場份額情況

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    根據統計，截止2015年底，我國共有特種氣體生產企業150余家，但多數企業生產規模較小。近年來，隨著國家對半導體產業的支持力度不斷加大，02專項等科研項目推動中國本土的電子特種氣體產品水平不斷提升。