隨著我國在微電子行業上的進步,對經濟發展起到了很大的推動作用,并且逐漸成為支柱性的產業之一。為滿足微電子技術發展的需要,對與之配套的高純電子級過氧化氫的要求也越來越高。
生產高純電子級過氧化氫的純化方法主要有以下幾種:精餾、吸附、離子交換、萃取、結晶、膜分離及以上單元操作的多元集成。以吸附法為例:吸附法在不發生相變的情況下,無需外界推動力,通過固體吸附劑的吸附能力除去過氧化氫水溶液溶質中的雜質。因而其設備及工藝簡單、生產條件溫和、操作便利,廣泛應用到生產高純電子級過氧化氫工藝中。
國內高純電子級過氧化氫生產規模大多數還處于試驗和小規模生產階段,高品質的產品少,因此開發產品品質好、工藝安全性高、易于大規模生產的純化工藝顯得尤為重要。此外,主要的生產廠家基本集中在東部沿海較發達的地區,而西部地區則較為稀少,這也成為制約我國高純電子級過氧化氫行業發展的重要一點。
2017年我國高純電子級過氧化氫生產企業數量達到了數十家,大多數企業產能較低,企業主要有杭州精欣化工有限公司、上海哈勃化學技術有限公司、蘇瑞電子材料有限公司、廣東中成化工股份有限公司、江陰市江化微電子材料科技有限公司等,從2017年全國高純電子級過氧化氫主要企業分布可以明顯看到以華東地區為主。
高純電子級過氧化氫企業區域分布
序號 | 企業名稱 | 區域 |
1 | 杭州精欣化工有限公司 | 浙江 |
2 | 上海哈勃化學技術有限公司 | 上海 |
3 | 蘇瑞電子材料有限公司 | 江蘇 |
4 | 廣東中成化工股份有限公司 | 廣東 |
5 | 江陰江化微電子材料股份有限公司 | 江蘇 |
資料來源:公開資料整理
2017年中國高純電子級過氧化氫產能達到了5.6萬噸,全國前五名高純電子級過氧化氫生產企業產能占據了46.43%的份額。
2017年全國高純電子級或氧化氫產能格局

資料來源:智研咨詢整理
高純電子級過氧化氫是微電子行業中一種十分重要的高純試劑,主要用作半導體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高級絕緣層制取,電鍍液無機雜質去除,電子行業中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質會對元器件性能產生致命影響,因此,高純過氧化氫對純度的要求非常苛刻。
隨著我國集成電路和微電子產業的快速發展,高純電子級過氧化氫需求量逐漸擴大,應用范圍不斷增加,高純電子級過氧化氫存在巨大的潛在市場。
2017年我國高純電子級過氧化氫行業需求量7.15萬噸,同比2016年的6.17萬噸增長了15.88%。
2011-2017年中國高純電子級過氧化氫行業需求量

資料來源:智研咨詢整理
隨著我國高純電子級過氧化氫需求規模的快速提升,2017年我國高純電子級過氧化氫行業產能約5.6萬噸,產量增長至4.35萬噸,同比2016年的3.98萬噸增長了9.3%,近幾年我國高純電子級過氧化氫行業產量情況如下圖所示:
2011-2017年中國高純電子級過氧化氫行業產量

資料來源:智研咨詢整理
智研咨詢發布的《2019-2025年中國高純電子級過氧化氫行業市場運營態勢及發展前景預測報告》數據顯示:2017年我國半導體領域高純電子級過氧化氫需求量為4.74萬噸,占行業需求總量的66.29%;晶硅太陽能電池領域需求量為0.79萬噸,需求占比為11.05%;液晶面板等其他領域需求總量為1.62萬噸,需求占比為22.66%。
2017年我國高純電子級過氧化氫需求領域分布格局

資料來源:智研咨詢整理
2011-2017年我國不同應用領域高純電子級過氧化氫需求統計圖

資料來源:智研咨詢整
近幾年全球半導體市場競爭激烈,我國半導體行業研發投入開始出現強勁增長,一定程度上帶動了我國高純電子級過氧化氫的市場規模,2017年我國高純電子級過氧化氫行業市場規模達到了5.07億元,同比2016年的4億元增長了26.75%,近幾年我國高純電子級過氧化氫規模情況如下圖所示:
2011-2017年中國高純電子級過氧化氫市場規模

資料來源:智研咨詢整理
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