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靶材

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趨勢研判!2024年中國靶材行業政策、市場規模、細分市場及企業分析:半導體市場需求恢復,為靶材市場發展帶來巨大推動力[圖]

靶材,也稱為濺射靶材,是高速荷能粒子轟擊的目標材料。通過不同的激光(離子光束)和不同的靶材相互作用得到不同的膜系,實現導電和阻擋的功能。靶材由“靶坯”和“背板”組成,靶坯是由高純金屬制作而來,是高速離子束流轟擊的目標;背板通過焊接工藝和靶坯連接,起到固定靶坯的作用,并且背板需要具備導熱導電性。

智研觀點 2024-11-11
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