MEMS傳感器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems）在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過40多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。

    過去幾年中，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩步的增長。2017年，全球MEMS傳感器和執行器總體市場規模為115億美元，其中MEMS傳感器為61億美元，增長17.3%，預計2018年，全球MEMS傳感器銷售額將增長10%以上，達到68億美元。

2016-2018年全球MEMS傳感器市場規模及增速

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    相關報告：智研咨詢發布的《2019-2025年中國微機電系統（MEMS）行業市場發展模式調研及投資趨勢分析研究報告》

    美國是MEMS產業、技術和產品的發源地，其發展水平世界領先。上世紀60年代，斯坦福等大學就從事MEMS領域的研究開發，佐治亞理工學院和美國加利福尼亞大學洛杉磯分校等眾多美國大學幾乎都建立有自己的MEMS晶圓生產線。美國麻省理工學院、斯坦福大學、加利福尼亞大學伯克利分校、凱斯西儲大學等還開發用于MEMS研究的設備、儀器等，支撐其技術研究。各學校一邊研究探索，同時也相互不斷進行技術與業務的交流，并與產業界組建成聯盟，促進MEMS技術及時轉化成MEMS產品。

    經過長期的發展，美國已發展為集官、產、學、研、金融等為一體的較為完整的MEMS產業體系。其用來進行MEMS產品生產的晶圓尺寸目前基本與IC同步，呈現大口徑化、智能化，與人體神經元和大腦信息互通互聯，與IC芯片、計算機軟件、數據采集和處理技術等多位一體化發展的趨勢。同時，應用領域也不斷向軍事、醫療、生物、仿生學、航空航天等領域全方位快速滲透和發展。

    目前，美國主要的MEMS傳感器公司有德州儀器（TI）、模擬器件（ADI）、飛思卡爾、樓氏電子（Knowles）、Si Time、惠普、IMT、Silicon Microstructures（SMI）、GE Infrastructure Sensing等。大部分半導體制造公司同時具有MEMS生產加工的業務。根據數據2017年全球MEMS傳感器銷售規模為61億美元，其中美國占比23.8%，即為14.5億美元。

2016-2018年美國MEMS傳感器行業市場規模（億美元）

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    歐洲各國政府積極制定相關規定推動MEMS產業和技術的發展，歐洲國家政府要求2012年汽車必須采用電子穩定控制（ESC）和輪胎壓力監測系統。歐洲新車評估體系（NCAP）等汽車安全性評估系統雖然是一種自愿評估機制，但目前得到了歐洲各國政府、汽車俱樂部和消費者組織的支持。在德國，汽車MEMS傳感器行業一直發展很好，企業Robert Bosch仍是目前汽車MEMS傳感器的龍頭業者。

    根據數據2017年全球MEMS傳感器銷售規模為61億美元，其中德國占比10.5%，即為8.7億美元。

2016-2018年德國MEMS傳感器行業市場規模（億美元）

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    日本政府從2007年起相繼推出了與MEMS相關的國家項目，推動MEMS相關開發。例如，日本文部科學省科學技術及學術政策局推出“尖端融合領域革新創造基地的形成”計劃課題——“微系統融合研究開發”啟動了產學合作項目。日本東北大學與理光、豐田汽車等11家公司共同啟動了產學合作項目。目標是通過走在MEMS領域前沿的研究小組與擁有具體應用對象的企業合作，使各種MEMS技術盡快達到實用水平。

    日本MEMS傳感器公司的最新技術發展動向主要有：智能視覺傳感器、快速圖像檢索、人機接口MEMS器件、智能汽車感應系統等。如：日本東京早稻田大學研制出通過肺、舌頭、聲帶和喉嚨發出聲音的機器人WT-4，使科學家們對大腦如何控制說話系統有了更深的了解。WT-4不僅使用機器肺臟與聲帶，還增加了機動靈活的舌頭、柔軟的上腭、嘴唇和牙齒，能夠更加清晰地讀出日本字母發音等，能模仿人類的聲音。

    目前，日本主要的MEMS公司有豐田電裝DENSO、松下、歐姆龍（Omron）、Matsushita、沖電氣（Oki）、村田制作所（Murata）、愛普生、三菱電機、夏普等。根據數據顯示，2017年全球MEMS傳感器銷售規模為61億美元，其中日本占比14.3%，即為8.7億美元。

2016-2018年日本MEMS傳感器行業市場規模（億美元）

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