內容概要：我國等離子體射頻電源系統行業起步較晚，但近年來在國家政策的加持下發展迅速，據統計，2024年我國等離子體射頻電源系統行業市場規模達123.3億元，同比增長9.50%，未來，隨著科技的持續進步和市場需求的日益增長，我國等離子體射頻電源系統市場有望迎來更廣闊的發展空間。

上市企業：英杰電氣（300820）、北方華創（002371）

相關企業：MKS Instruments, Inc.、Advanced Energy Industries, Inc.、深圳市恒運昌真空技術股份有限公司、江蘇神州半導體科技有限公司、深圳市瀚強科技股份有限公司、深圳市廣能達半導體科技有限公司

關鍵詞：等離子體射頻電源系統行業壁壘、等離子體射頻電源系統市場政策、等離子體射頻電源系統產業鏈圖譜、等離子體射頻電源系統市場規模、等離子體射頻電源系統競爭格局、等離子體射頻電源系統發展趨勢

一、概述

等離子體射頻電源系統是半導體制造中極其關鍵的專用電源系統，主要由等離子體射頻電源和匹配器組成。等離子體射頻電源是可以產生正弦波電壓，工作頻率范圍一般處于3KHz至300GHz之間，具有一定功率的工藝電源。其核心作用是通過產生高頻電場，在晶圓反應腔體內將特定工藝氣體電離，創造并維持高活性、高能量的等離子體，并利用等離子體的特殊性能實現薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等復雜半導體工藝（薄膜沉積、刻蝕與光刻并稱為芯片制造三大關鍵工序）。等離子體射頻電源系統的性能直接影響薄膜沉積、刻蝕等環節中等離子體的成分濃度、均勻性和穩定性等，對于薄膜沉積的厚度、密度、應力、速率，以及刻蝕的選擇性、方向性、速率、質量等至關重要，進而影響晶圓制造工藝的能力、良率和效率，等離子體射頻電源系統在半導體制造核心裝備中占據著核心位置。

二、行業壁壘

半導體設備核心零部件是半導體設備技術更迭和制程演進的重要承載，在半導體工藝和芯片結構日趨復雜的背景下，半導體設備商對核心零部件廠商的要求更為嚴苛，包括對產品的可靠性、穩定性和一致性及核心零部件廠商的研發能力、技術實力。因此，半導體設備核心零部件行業的技術壁壘很高，等離子體射頻電源系統作為薄膜沉積設備、刻蝕設備等半導體設備的核心零部件，技術要求極高，此外，由于半導體設備和產線結構的復雜性，各設備的良率、穩定性會對整個制造體系產生累積效應，設備零部件的瑕疵或問題可能引起巨額的潛在損失，因此半導體設備商及晶圓廠對于零部件的驗證、驗收有嚴苛的標準和流程，且在設備定型后，不會輕易更換機臺上所使用的等離子體射頻電源系統，以此滿足半導體“精確復制”的管理模式，因此，半導體設備商及晶圓廠往往會選擇長期合作的核心零部件供應商。

三、市場政策

根據國家統計局發布的《國民經濟行業分類》（GB/T4754—2017），等離子體射頻電源系統屬于“半導體器件專用設備制造”，行業代碼為“C3562”。我國高度重視半導體等核心產業發展，相繼出臺《電子信息制造業2023—2024年穩增長行動方案》《河套深港科技創新合作區深圳園區發展規劃》《產業結構調整指導目錄（2024年本）》《關于加快數字經濟高質量發展的意見》《貫徹實施〈國家標準化發展綱要〉行動計劃（2024—2025年）》《關于做好2024年享受稅收優惠政策的集成電路企業或項目、軟件企業清單制定工作有關要求的通知》《中共中央關于進一步全面深化改革推進中國式現代化的決定》等一系列政策，大力推動等離子體射頻電源系統行業進步。

四、產業鏈

1、產業鏈結構

等離子體射頻電源系統行業上游主要包括電容、MOSFET、芯片及模組等電子件供應商，功率模塊等電氣件供應商以及結構件等原材料供應商；行業中游為等離子體射頻電源系統研發、制造等環節；行業下游為應用市場，涵蓋半導體、光伏、顯示面板等諸多領域。

2、上游

從上游成本結構來看，目前，包括電容、MOSFET、芯片及模組、功率模塊、結構件在內的原材料占比最大，超70%，因此，等離子體射頻電源系統企業需要與上游供應商建立長期穩定的戰略合作關系，通過聯合研發新材料、優化采購流程、批量集中采購等方式，降低原材料的采購成本，同時，要密切關注上游產業鏈的技術迭代和價格波動，提前布局關鍵原材料的儲備與替代方案，以增強對成本的把控能力，從而在激烈的市場競爭中保持產品的價格優勢和利潤空間，為企業的持續發展奠定堅實基礎。

3、下游

從下游需求結構來看，目前，半導體為我國等離子體射頻電源系統最大需求市場，占比超50%，半導體設備處于半導體產業鏈的上游環節，是半導體產業的基石，是提升我國半導體產業鏈供應鏈韌性的關鍵，據SEMI數據顯示，2023年我國半導體設備市場規模達366億美元，占全球半導體設備市場整體規模的34.56%，2024年我國半導體設備市場規模有望突破450億美元，市場占比有望突破40%，等離子體射頻電源系統作為半導體設備的電氣類核心零部件，隨著半導體設備市場的持續繁榮將迎來更廣闊的發展空間。

相關報告：智研咨詢發布的《中國等離子體射頻電源系統行業市場動態分析及未來趨勢研判報告》

五、發展現狀

隨著半導體、光伏、顯示面板等下游市場的飛速發展，帶動等離子體射頻電源系統市場需求與日俱增，市場規模持續擴容，據統計，2024年全球等離子體射頻電源系統行業市場規模達55.0億美元，同比增長10.22%，未來，隨著半導體制程的不斷演進，薄膜沉積、刻蝕等半導體工藝復雜度與精細度不斷提升，對等離子體射頻電源系統技術指標要求也越來越高，同時也形成了新的技術升級驅動力。

從國內市場來看，我國等離子體射頻電源系統行業起步較晚，但近年來在國家政策的加持下發展迅速，據統計，2024年我國等離子體射頻電源系統行業市場規模達123.3億元，同比增長9.50%，未來，隨著科技的持續進步和市場需求的日益增長，我國等離子體射頻電源系統市場有望迎來更廣闊的發展空間。

六、競爭格局

1、整體格局

等離子體射頻電源系統具有技術壁壘高、研發投入大、研發周期長、生產的“精確復制”要求極高的特點，加之我國等離子體射頻電源系統行業起步較晚，因此，等離子體射頻電源系統成為我國半導體設備零部件國產化最難關卡之一，國產化率較低。目前，等離子體射頻電源系統由國際頭部廠商壟斷，極少數國產廠商參與等離子體射頻電源系統市場呈現高度集中的競爭格局，主要由美國的MKS、AE等國際巨頭主導，近年來，國內企業也在加速追趕，如深圳市恒運昌真空技術股份有限公司是國內極少數實現量產半導體級等離子體射頻電源系統的企業，其產品能支撐14納米先進制程，另外，四川英杰電氣股份有限公司、華丞電子（北方華創子公司）等也是該中游環節的參與者。

2、代表國產企業分析

（1）四川英杰電氣股份有限公司

四川英杰電氣股份有限公司作為國內綜合性工業電源研發及制造領域具有較強實力和競爭力的企業之一，主要專注于電力電子技術在工業各領域的應用，從事以功率控制電源、特種電源為代表的工業電源設備的研發、生產與銷售以及新能源汽車充電樁/站的研發、生產和銷售。近年來，公司加大了在半導體及電子材料領域的投入，重點攻關半導體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關鍵制程電源技術，同步拓展碳化硅外延、復合銅箔等新興領域，部分型號射頻電源已實現量產，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進制程，已經申請了數十項半導體電源相關專利。2024年英杰電氣營業總收入達17.80億元，毛利潤6.86億元，毛利率為3.85%。

（2）深圳市恒運昌真空技術股份有限公司

深圳市恒運昌真空技術股份有限公司是國內領先的半導體設備核心零部件供應商，主要圍繞等離子體工藝打造產品矩陣，自研產品具體包括等離子體射頻電源系統（等離子體射頻電源及匹配器）、等離子體激發裝置（遠程等離子體源、射頻離子源）、等離子體直流電源、配件（濾波器、阻抗調整器等）；引進產品主要包括真空獲得和流體控制分別所需的真空泵、質量流量計等核心零部件；同時還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統原位替換及維修等技術服務。

深圳市恒運昌真空技術股份有限公司于2013年成立，先后經歷了起步探索期（2013-2017年）、快速發展期（2018-2022年）、持續創新期（2023-至今）。在各發展階段，公司發展引進業務的同時，在自研方面以等離子體射頻電源系統關鍵技術的不斷突破為核心，圍繞等離子體工藝核心零部件整體解決方案及產業布局實現階梯式的發展。

七、發展趨勢

目前我國等離子體射頻電源系統在半導體領域國產化率仍然很低，在復雜的國際地緣政治形勢下，國內半導體設備廠商對于零部件自主可控的要求愈發緊迫，這使得他們對國產等離子體射頻電源系統導入意愿空前強烈，同時，以深圳市恒運昌真空技術股份有限公司為代表的國產供應商已經取得了技術沉淀和產品迭代的成果，并且逐步通過了半導體設備商和晶圓廠的產品與技術驗證，未來伴隨中國大陸半導體市場的快速發展以及國產替代的整體趨勢，國產等離子體射頻電源系統的市場份額會持續擴大。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.jwnclean.com）發布的《中國等離子體射頻電源系統行業市場動態分析及未來趨勢研判報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。